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[发明专利]一种高效率产生紫外飞秒脉冲激光的方法-CN200910055233.0有效
发明人：赵坤;袁鹏;钟亥哲;张东方;朱鹤元;钱列加 -专利权人：复旦大学
申请日： 2009-07-23 - 公布日： 2009-12-23 - 主分类号： G02F1/35 文献下载
摘要：本发明属于激光技术领域，具体为一种高效率产生紫外飞秒脉冲激光的方法。该方法从两个同步的再生放大器激光源出发，通过连续多个窄带皮秒长脉冲激光与宽带啁啾皮秒长脉冲激光在非线性晶体中的和频，产生紫外波段的皮秒啁啾脉冲激光。最后经光栅压缩器压缩，得到紫外飞秒脉冲激光。本发明方法相对于宽带倍频的效率大为提高，可适用于需要紫外波段飞秒脉冲作为激光源的系统。
一种高效率产生紫外脉冲激光方法

[发明专利]极紫外辐射控制方法、装置、电子设备和极紫外辐射系统-CN202110458736.3有效
发明人：马修泉;王力波;闻锦程;吴寒;刘怀亮;马新敏;陆培祥 -专利权人：广东省智能机器人研究院
申请日： 2021-04-27 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请涉及一种极紫外辐射控制方法、装置、电子设备和极紫外辐射系统。所述方法包括：输出液滴控制指令，液滴控制指令用于控制液滴靶生成装置以预设时间间隔产生预设速度的液滴；在液滴到达预设位置之后，输出预脉冲激光控制指令，预脉冲激光控制指令用于控制激光器发射预脉冲激光，使液滴在预脉冲激光的轰击作用下产生云雾团；在云雾团达到预设扩散程度和预设移动速度之后，输出主脉冲激光控制指令，主脉冲激光控制指令用于控制同一激光器发射主脉冲激光，使云雾团在主脉冲激光的轰击作用下产生等离子体，等离子体用于产生极紫外辐射。采用本申请实施例方法，能够有效提高等离子体极紫外辐射转换效率。
紫外辐射控制方法装置电子设备系统

[发明专利]一种紫外脉冲激光器-CN201911336164.0在审
发明人：戴殊韬;林文雄;吴鸿春;吴丽霞;翁文;李锦辉;陈恩泽;邓晶;葛燕;郑晖;黄见洪 -专利权人：中国科学院福建物质结构研究所
申请日： 2019-12-23 - 公布日： 2020-05-12 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种紫外脉冲激光器，属于激光脉冲技术领域，能够解决现有的能够解决现有的226nm紫外脉冲激光能量低、光束质量差的问题。所述激光器包括：泵浦源、以及依次设置在泵浦源出射光路上的钛宝石晶体、光栅组件和第一倍频晶体；泵浦源发射的激光经过钛宝石晶体后，得到第一脉冲激光；光栅组件用于压缩第一脉冲激光的线宽，并调谐第一脉冲激光的中心波长；第一倍频晶体用于将第一脉冲激光转化成所述第二脉冲激光；激光器还包括激光单元，激光单元用于产生第三脉冲激光；和频单元，用于将第二脉冲激光和第三脉冲激光进行和频，得到第四脉冲激光。
一种紫外脉冲激光器

[发明专利]极紫外光源产生方法-CN201810402860.6在审
发明人：张俊霖;傅中其;刘柏村;陈立锐;郑博中;易威廷;简上杰 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2018-04-28 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种极紫外光源产生方法。一种极紫外光源，其包括配置为用以产生第一预脉冲激光光束、第二预脉冲激光光束、及主脉冲激光光束的激光光源。在一些实施例中，在极紫外光容器内使用第一预脉冲激光光束照射液滴以形成重成形液滴。在一些例子中，液滴包括锡液滴。在多种实施例中，随后通过使用第二预脉冲激光光束照射重成形液滴以形成种子等离子体。随后，且在一些例子中，使用主脉冲激光光束照射种子等离子体以加热种子等离子体，进而产生极紫外光。
脉冲激光光束等离子体极紫外光源极紫外光成形液主脉冲液滴照射激光光束照射激光光束激光光源加热种子锡液滴配置

[发明专利]一种基于紫外脉冲激光的空气净化用杀菌装置-CN202011335166.0在审
发明人：吴云龙;王建颖 -专利权人：北京新风航天装备有限公司
申请日： 2020-11-25 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： F24F8/108 文献下载
摘要：一种基于紫外脉冲激光的空气净化用杀菌装置，包括外壳(1)和稳压电源(5)，其中，稳压电源(5)在外壳(1)内，其特征在于，在外壳(1)内底部上还设有紫外脉冲激光器(6)和激光器供电装置(7)，稳压电源(5)与激光器供电装置(7)连接，激光器供电装置(7)又与紫外脉冲激光器(6)连接；在紫外脉冲激光器(6)上安装有光学积分球(9)，紫外脉冲激光器(6)的激光出光口与光学积分球(9)底部中间的入口密封连接
一种基于紫外脉冲激光空气净化杀菌装置

[发明专利]一种基于气相激光等离子体可调真空紫外单光子电离装置-CN201811598070.6在审
发明人：唐紫超;施再发;刘方刚;余竟雄;杨静;郑兰荪 -专利权人：厦门大学
申请日： 2018-12-26 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： G01N21/63 文献下载
摘要：一种基于气相激光等离子体可调真空紫外单光子电离装置，涉及真空紫外可调单光子电离技术。第1观察窗与第2观察窗成90°安装；短脉冲激光器的光路垂直于第1观察窗和聚焦镜，聚焦镜将短脉冲激光器聚焦于脉冲阀内的高压脉冲气，脉冲阀垂直正交安装在短脉冲激光器焦点上方；短脉冲激光器聚焦于脉冲阀的高压脉冲气产生的真空紫外光和短脉冲激光器光路形成40°入射到光栅，真空紫外光经过光栅分光被检测器接收；检测器被安装在高压脉冲气正下方，检测器和光栅平行安装；所述短脉冲激光器、聚焦镜、高压脉冲气、光栅和检测器的中心处于同一平面上；所述分子泵安装于真空腔底面正中心
短脉冲激光器光栅高压脉冲检测器观察窗聚焦镜脉冲阀可调紫外单光子电离激光等离子体真空紫外光聚焦单光子电离被检测器垂直正交光路垂直平行安装真空系统分子泵真空腔正中心底面分光光路入射焦点

[实用新型]表面结构化复合涂层制备装置-CN201020200277.6无效
发明人：杨海峰;王延庆;韩正铜;王庆良;李宝林 -专利权人：中国矿业大学
申请日： 2010-05-18 - 公布日： 2011-05-18 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：一种表面结构化复合涂层制备装置，适用于表面结构化复合涂层制备，是一种紫外脉冲激光多功能表面处理系统装置，它包括紫外脉冲激光多功能表面处理系统装置，紫外脉冲激光多功能表面处理系统装置包括脉冲激光模块、精密扫描模块和环境调控模块，脉冲激光模块、精密扫描模块和环境调控模块顺序连接。采用一个激光光源可同时实现材料表面的结构化处理和复合涂层的沉积，结构简单、易于控制，单次扫描即可，无需对制备的样品进行复杂的后处理工艺；应用范围广、紫外脉冲激光具有光子能量大、波长短的特点，可以对任何材料进行精密的表面结构化处理
表面结构复合涂层制备装置

[发明专利]一种222nm深紫外脉冲激光源的产生装置-CN202210138571.6在审
发明人：郭永瑞;张娜娜;陈鑫 -专利权人：重庆邮电大学
申请日： 2022-02-15 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H01S3/109 文献下载
摘要：本发明公开了一种222nm深紫外脉冲激光源的产生装置，属于激光器技术领域。本发明包括自倍频Nd:YCOB调Q激光器、腔外三倍频激光器两部分；自倍频Nd:YCOB调Q激光器，用于把原始泵浦激光经自倍频处理过程产生666nm红光脉冲激光；腔外三倍频激光器，用于把666nm红光脉冲激光经过三倍频频率转换，得到222nm深紫外脉冲激光并输出腔外。本发明利用激光二极管泵浦Nd:YCOB自倍频晶体电光调Q产生666nm脉冲激光，将该666nm脉冲激光作为三倍频激光器的泵浦激光源，通过三倍频过程获得222nm深紫外脉冲激光输出。
一种 222 nm 深紫脉冲激光产生装置

[发明专利]高灵敏度气溶胶单颗粒激光电离装置以及质谱仪-CN202110467036.0在审
发明人：朱星高;杜绪兵;卓泽铭 -专利权人：广州禾信仪器股份有限公司
申请日： 2021-04-28 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： G01N27/64 文献下载
摘要：本发明公开了一种高灵敏度气溶胶单颗粒激光电离装置以及质谱仪。高灵敏度气溶胶单颗粒激光电离装置包括脉冲激光器、紫外激光反射镜片、聚焦透镜、再反射镜片以及凹面反射镜；脉冲激光器、紫外激光反射镜片、聚焦透镜、再反射镜片以及凹面反射镜沿着光路前进方向顺序分布，脉冲激光器用于产生脉冲激光电离气溶胶单颗粒，紫外激光反射镜片用于反射脉冲激光器产生的脉冲激光至聚焦透镜，聚焦透镜用于聚焦脉冲激光至气溶胶单颗粒的前表面，再反射镜片用于反射聚焦到气溶胶单颗粒后的重新放大后的放大激光反射到凹面反射镜，凹面反射镜用于将放大激光反射并重新聚焦到气溶胶单颗粒的后表面高灵敏度气溶胶单颗粒激光电离装置能够提高电离灵敏度。
灵敏度气溶胶颗粒激光电离装置以及质谱仪

[发明专利]一种紫外固体激光器-CN202210201366.X在审
发明人：叶志斌;江舒;吴飞;刘崇;晏恒峰 -专利权人：衢州学院
申请日： 2022-02-27 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： H01S3/109 文献下载
摘要：本发明涉及一种紫外固体激光器，涉及固体激光器技术领域，包括：泵浦模块，激光增益模块，倍频模块以及激光转换模块。倍频模块包括：二倍频平面晶体、三倍频非平面晶体和紫外绿光高反高透镜；激光转换模块包括：反射镜、CLBO四倍频晶体和布鲁斯特等腰棱镜。泵浦模块产生泵浦光后，经激光增益模块转化为红外激光，然后分别经过二倍频平面晶体和三倍频非平面晶体转化成532nm脉冲激光和355nm脉冲激光。同时532nm脉冲激光被反射至CLBO四倍频晶体内产生266nm脉冲激光，再经过布鲁斯特等腰棱镜，分离并输出266nm脉冲激光，从而实现532nm脉冲激光、355nm脉冲激光和266nm脉冲激光的同时输出
一种紫外固体激光器

[发明专利]化学强化玻璃的切割方法-CN201310457718.9在审
发明人：戴丰源;叶鸿链;王仲培 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2013-09-30 - 公布日： 2015-04-15 - 主分类号： C03B33/02 文献下载
摘要：一种化学强化玻璃的切割方法，所述化学强化玻璃包括第一应力层、内拉伸区和第二应力层，所述内拉伸区位于所述第一应力层和第二应力层之间，所述方法包括：采用一绿光脉冲激光切割所述第一应力层，所述绿光脉冲激光包括脉冲持续时间为飞秒的激光和脉冲持续时间为奈秒的激光；采用一紫外光脉冲激光切割所述内拉伸层，所述紫外光脉冲激光包括脉冲持续时间为飞秒的激光和脉冲持续时间为奈秒的激光；采用所述绿光脉冲激光切割所述第二应力层。
化学强化玻璃切割方法

[发明专利]消毒装置及其灯具机构-CN201710203652.9在审
发明人：张洪;顾大勇;何建安;宋荔;何骁生;张河生 -专利权人：深圳市急救中心;深圳市瑞谱医疗科技有限公司;深圳市检验检疫科学研究院
申请日： 2017-03-30 - 公布日： 2017-09-22 - 主分类号： A61L2/10 文献下载
摘要：该灯具机构包括紫外脉冲激光灯及散热固定组件。散热固定组件包括散热座、弹片及两个挤压件，散热座上设有安装槽，弹片包括基板及两块侧板，两块侧板分别设于基板的相对的两侧，弹片具有基板的一端设于安装槽内，另一端位于安装槽外，两块侧板用于夹持紫外脉冲激光灯的端部；两个挤压件分别设于安装槽相对的两侧，且每一挤压件用于挤压一侧板，以固定夹持于两块侧板之间的紫外脉冲激光灯；散热固定组件的数目为两个，紫外脉冲激光灯的两端分别夹于两个散热固定组件中，且每一挤压件与一侧板抵接该灯具机构能固定紫外脉冲激光灯以及为紫外脉冲激光灯散热。
消毒装置及其灯具机构

[发明专利]一种基于红外脉冲激光清理及紫外光固化快速原位修复复合材料的设备和方法-CN202111381664.3在审
发明人：占小红;罗杰帮;王飞云;卜珩倡 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： B29C73/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于红外脉冲激光清理及紫外光固化快速原位修复复合材料的设备和方法；具体包括计算机控制系统、监测与反馈系统、红外脉冲激光清理系统、紫外光固化系统。监测与反馈系统用于实时反馈脉冲激光清理复合材料损伤区的温度及深度，计算机系统根据监测与反馈系统反馈的信息对脉冲激光的参数进行调节；红外脉冲激光清理系统用于清理复合材料损伤区的杂质、开裂的树脂、碳纤维；紫外光固化系统用于固化复合材料损伤区所贴补的柔性预浸料本发明中的集成设备体积小、重量轻、操作简单，易于实现在外场对复合材料损伤区域的原位修复，且脉冲激光清理过程快，紫外光固化时间短，整个过程高效快速，有效地提高的复合材料的修复质量。
一种基于红外脉冲激光清理紫外光固化快速原位修复复合材料设备方法

[发明专利]极紫外光产生方法和装置-CN202011630976.9有效
发明人：马修泉;王奕淳;吴寒;刘怀亮;闻锦程;王力波 -专利权人：广东省智能机器人研究院
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请涉及一种极紫外光产生方法和装置，该方法包括：液滴发生装置沿液滴运动路径产生液滴靶；液滴靶脱离液滴发生装置时，具备预设的初始自转角速度；激光光源装置产生辐射脉冲激光，并将辐射脉冲激光聚焦于真空环境中的预设打靶位置；辐射脉冲激光在预设打靶位置，沿垂直于液滴靶的转动平面的方向击打液滴靶，以使液滴靶受到激光作用并被等离子体化，产生极紫外光。上述极紫外光产生方法，液滴靶在沿液滴运动路径运动的同时自转，转变为饼状，辐射脉冲激光的传输路径垂直于饼状所在平面，有利于增大辐射脉冲激光的作用面积，使该辐射脉冲激光的能量被液滴靶充分吸收，进而提高打靶激光的能量利用率
紫外光产生方法装置

[发明专利]紫外脉冲激光器-CN202010962598.8有效
发明人：檀慧明;顾丰;王军营 -专利权人：深圳联品激光技术有限公司
申请日： 2020-09-14 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种紫外脉冲激光器，涉及紫外脉冲激光技术和光学频率变换技术。紫外脉冲激光器中，基频光脉冲光源用于发出基频光；倍频晶体配置为II类相位匹配，对基频光进行倍频频率变换为倍频光，用于将基频光分解为偏振方向互相垂直的第一偏振方向基频光及第二偏振方向基频光；第一和频晶体将倍频光与第一偏振方向基频光进行和频频率变换为第一紫外光；第二和频晶体将倍频光与第二偏振方向基频光进行和频频率变换为第二紫外光；紫外脉冲激光器将第一紫外光和第二紫外光一同输出。本申请通过偏振方向垂直的偏振光例如第一及第二偏振方向基频光分别与倍频光腔外二次和频，充分利用了垂直的两个偏振方向的偏振光，提高了紫外脉冲激光器的转换效率。
紫外脉冲激光器

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